[实用新型]一种晶棒拆码垛组件有效
申请号: | 202222488577.4 | 申请日: | 2022-09-20 |
公开(公告)号: | CN218560416U | 公开(公告)日: | 2023-03-03 |
发明(设计)人: | 靳立辉;高浩;靳晓伟;任宇晨;高翔 | 申请(专利权)人: | 天津环博科技有限责任公司 |
主分类号: | B65G61/00 | 分类号: | B65G61/00;B65G47/90;B65G43/08 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供一种晶棒拆码垛组件,包括:拆码垛机械装置以及容纳晶棒的周转箱;所述拆码垛机械装置移动轴前端设置一兼容性夹爪,所述兼容性夹爪包括设置在支撑架上夹取所述晶棒的晶棒夹具以及夹取所述周转箱的周转箱夹具,且所述晶棒夹具与所述周转箱夹具不相互重叠。本实用新型的有益效果是兼容性夹爪既能够夹取晶棒,又能够夹取周转箱,能够减少更换夹具的时间,提高工作效率;且在夹取盘上还设置有对射传感器,能够判断晶棒夹具是否夹紧晶棒,防止出现晶棒在移动过程中掉落的情况出现,减少安全隐患。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶棒拆 码垛 组件 | ||
【主权项】:
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