[实用新型]一种晶圆表面平整度检测装置有效
| 申请号： | 202222499388.7 | 申请日： | 2022-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN218238756U | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 李海亮;俞辉;甘志金 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆表面平整度检测装置，包括安装底座，所述安装底座上端转动连接有控制盘，所述控制盘上端安装固定有用于放置晶圆的限位工件，所述安装底座上端固定连接有安装架，所述安装架下端侧壁安装有第一检测元件，所述第一检测元件水平设置，其中通过第一检测元件检测晶圆表面凸起的坐标位置。本实用新型其能够快速对晶圆表面的凸起进行检测，提高了检测的精度以及效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 平整 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，未经安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222499388.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
