[实用新型]一种用于处理硬碳颗粒的原子沉积改性设备

摘要

本实用新型公开了一种用于处理硬碳颗粒的原子沉积改性设备，包括颗粒产生器，颗粒产生器设有颗粒出口；腔室本体、气体分布板、分布板衬板，分布板衬板设置于气体分布板下方，分布板衬板的底部设有滑轮，腔室本体底部设有滑轨；第一腔室、第二腔室、第三腔室之间设有隔板，隔板底部与腔室本体之间设有间距，间距与分布板衬板的厚度一致。采用将腔室本体分隔出多个腔室的方式，减少了第一次在前驱体气体注入后再次注入惰性气体进行清扫的难度，可驱动分布板衬板在轨道移动，移动至第二腔室即可，并且当在第二腔室完成针对硬碳颗粒包裹覆盖层的操作，最后在第三腔室完成检测步骤，具有良好的可操作性，也十分便于清扫。