[实用新型]一种晶圆传送盒搬运车有效
| 申请号： | 202222514614.4 | 申请日： | 2022-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN218403549U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 钟勇;张泉伟;刘星宇 | 申请（专利权）人： | 广东长虹智能制造技术有限公司;四川长虹智能制造技术有限公司 |
| 主分类号： | B66F9/12 | 分类号： | B66F9/12;B66F9/075;B66F17/00 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种晶圆传送盒搬运车，涉及晶圆传送盒搬运设备技术领域，以解决晶圆传送盒搬运效率低的问题。所述晶圆传送盒搬运车包括主体结构，主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构、用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括叉架和驱动叉架运动的驱动装置，晶圆传送盒具有与叉架配合的叉口；晶圆传送盒搬运时，驱动装置驱动叉架伸入至叉口内实现晶圆传送盒的移送动作，或者驱动装置驱动叉架远离叉口实现晶圆传送盒的释放动作，所述晶圆传送盒搬运车用于搬运晶圆传送盒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传送 搬运车 | ||
【主权项】：
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