[实用新型]一种钟罩式气相化学用沉积炉有效
申请号: | 202222520598.X | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN218756032U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 王勇 | 申请(专利权)人: | 成都四盛科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610000 四川省成都市经济技*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种钟罩式气相化学用沉积炉,包括钟罩式气相化学沉积炉、固定压板和安装机构,所述钟罩式气相化学沉积炉直接置于用于支撑的底座上端的中部,连接柱,所述连接柱固定连接在底座上端的左右两侧,所述固定压板用于对钟罩式气相化学沉积炉的下端压紧固定,所述安装机构对称设置在钟罩式气相化学沉积炉的左右两端。该钟罩式气相化学用沉积炉,能够非常便捷的对钟罩式气相化学沉积炉进行夹持固定,防止钟罩式气相化学沉积炉在使用过程中产生晃动,紧固性好,结合固定压板对钟罩式气相化学沉积炉的下端进行压紧限位,使得钟罩式气相化学沉积炉的密封性更好。 | ||
搜索关键词: | 一种 钟罩式气相 化学 沉积 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的