[实用新型]一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒有效

专利信息
申请号: 202222520663.9 申请日: 2022-09-23
公开(公告)号: CN218756001U 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 王勇 申请(专利权)人: 成都四盛科技有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/50;C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610000 四川省成都市经济技*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,包括:滚筒本体、用于承载限位滚筒本体的承接机构及承接机构外设置其传动作用的传动齿轮;所述滚筒本体的内侧中心对称设置有定位挡板;所述承接机构设置在滚筒本体的外侧,且承接机构由连接板、支撑杆、限位块和加热管构成。该均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,便于对该滚筒进行拆装更换,以便达到方便清洗,并便于减少对镀膜物件转动产生的损伤,使之使用寿命长的目的,便于使滚筒本体带动其内容纳腔的物件进行转动,以此通过提高待镀膜物件与成膜物质接触面积,来使待镀膜物件镀膜均匀,并提高镀膜效率,以及便于使加热管对镀膜物件进行加热提高成膜效率。
搜索关键词: 一种 均匀 镀膜 溅射 滚筒
【主权项】:
暂无信息
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