[实用新型]一种真空蒸镀蒸发舟有效
申请号: | 202222534907.9 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN218089762U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 侯建洋;李永强;祁岭;孙欣森 | 申请(专利权)人: | 安迈特科技(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 吴瑛 |
地址: | 102402 北京市房*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空蒸镀技术领域,公开了一种真空蒸镀蒸发舟。该真空蒸镀蒸发舟包括舟体以及设置在舟体上的第一结构面和蒸发槽,蒸发槽包括底壁,真空蒸镀蒸发舟还包括凸台,凸台从蒸发槽的底壁向上凸起设置,凸台的顶面设有多条第一导流槽,多条第一导流槽交错设置。本实用新型通过设置凸台作为送丝点,延长了蒸发舟可侵蚀深度,降低因侵蚀造成的蒸发舟开裂等缺陷,延长蒸发舟的使用寿命,金属丝在凸台的顶面液化,并沿着多条第一导流槽向各个方向扩散,增大了金属液扩散均匀性,并使得金属液能够沿着凸台的侧面流向蒸发槽,加大金属液对整个蒸发槽的浸润,使整个蒸发槽温度分布较均匀,降低因温差而产生爆沸发生的频率,提高产品良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 蒸发 | ||
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