[实用新型]一种蒸发器皿以及真空镀膜系统

摘要

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开了一种蒸发器皿以及真空镀膜系统。所述蒸发器皿包括具有底壁的第一蒸发池，所述第一蒸发池内设置有池壁，所述池壁从所述底壁向上延伸设置，所述池壁首尾相接以形成第二蒸发池，所述第二蒸发池用于容纳金属蒸发液，所述第一蒸发池用于容纳由所述第二蒸发池溢出的所述金属蒸发液。本实用新型的蒸发器皿通过在第一蒸发池内设置池壁，并且该池壁首尾相接形成第二蒸发池，由于第二蒸发池的面积小于第一蒸发池的面积，金属蒸发液更容易在第二蒸发池内铺满，从而能够提高蒸发器皿的润湿性，并且第一蒸发池和第二蒸发池处于同一温度场下，即使金属蒸发液溢出第二蒸发池外，也不会因温场变化造成金属蒸发液的飞溅。