[实用新型]晶圆转换装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆转换装置，用于不同晶圆载具之间晶圆的转换，包括基板、导引组件以及顶推件。所述基板具有一承载面；所述导引组件设置于所述基板的承载面上，所述导引组件包括相对设置的第一导引件和第二导引件，所述第一导引件和所述第二导引件之间形成有放置所述晶圆载具的空间，所述第一导引件和所述第二导引件之间的距离可调节，以适应不同大小的晶圆载具；所述顶推件设置于所述基板的承载面上且位于所述导引组件的延伸方向上，所述顶推件包括顶推部，所述顶推部在垂直于所述承载面方向延伸设置。本实用新型的晶圆转换装置，能够解决因人工转换而造成的晶圆错位叠片，划伤，擦伤而使晶圆报废的问题。