[实用新型]一种MOCVD加热装置

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD加热装置，涉及加热装置技术领域，该MOCVD加热装置用于MOCVD设备，MOCVD设备包括电极端子，加热装置包括加热件和紧固件，加热件包括加热部和连接部，连接部和电极端子的安装部上设有相互对应的第一安装孔和第二安装孔，其中，第一安装孔和第二安装孔的其中一个上设有向边缘延伸的调节部，当加热件连接于电极端子上时，通过移动加热件，以使穿设于第一安装孔与第二安装孔之间的紧固件向调节部的延伸方向过渡，以使加热件可相对于电极端子进行移动。通过该设置，实现可将加热件与石墨盘的边缘对齐，以保障对石墨盘最外圈的温度，解决外圈晶圆受热不均匀的问题。