[实用新型]一种单晶硅棒斜度检测机有效
| 申请号： | 202222640377.6 | 申请日： | 2022-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN218443879U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈浩 | 申请（专利权）人： | 杭州固方机电有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00;G01C9/02 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 周炤隆 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市余杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅棒斜度检测机，涉及单晶硅加工技术领域。本实用新型包括承重机构，承重机构底部的四个拐角处均固定连接有支撑机构，承重机构上表面一侧中心位置固定连接有调节机构，调节机构的一侧外壁上固定连接有斜度测量组件，承重机构底部中心位置固定连接有承载机构，承载机构底部两侧的中心位置均固定连接有升降机构，升降机构的上表面固定连接有放置机构。本实用新型通过斜度测量组件的设置，解决了现有的只能检测截面斜度的问题，通过放置机构的设置，解决了现有的不方便对直径较小的单晶硅棒进行测量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 斜度 检测 | ||
【主权项】：
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