[实用新型]一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备

摘要

本申请公开了一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备，蒸镀速率检测装置包括晶振盘，晶振盘上设有环形槽以容置环形晶振片；和遮挡件，遮挡件可转动地设置在晶振盘上用于遮挡环形晶振片，且遮挡件的投影面积覆盖晶振盘，遮挡件开设有第一通孔，第一通孔用于露出环形晶振片中的一段。环形晶振片一体化的结构，使晶振片在检测时无需切换，避免每批次圆形晶振片切换每个圆形晶振片耗费的时间，环形晶振片的检测时间延长，产能得到提高，环形晶振片的利用率也得到提高；环形晶振片一次性地在晶振盘上安装和拆卸，拆装便捷，避免设置多个圆形晶振片拆装时容易掉落、晶振片浪费的问题；还能使生产成本得到较大程度地降低。