[实用新型]一种磁控溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 202222672206.1 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN218666257U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 王昆 | 申请（专利权）人： | 富有信（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 高雪莲 |
| 地址： | 300000 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜装置，涉及磁控镀膜技术领域。一种磁控溅射镀膜装置，包括机体、放置在机体内部的靶材以及设置在基板与靶材之间的溅射窗，所述溅射窗底部对称设置有调节机构，所述调节机构一侧设置有多个修正板，所述修正板靠近连接板的一侧固定连接有连接块二，所述调节机构包括移动块，所述移动块底部设置有用于驱动移动块移动的驱动组件，移动块一侧固定连接有电动推杆，所述电动推杆推动端设置有用于连接修正板的连接组件。本实用新型通过连接板底部设置的驱动组件，驱动组件上设置的移动块，移动块一侧固定连接的电动推杆，电动推杆推动端固定连接的连接组件，可自动调节修正板的所在位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 装置 | ||
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