[实用新型]一种基板支撑装置有效
| 申请号： | 202222688653.6 | 申请日： | 2022-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN218251811U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 邵树宝;蒋超伟;王泳彬 | 申请（专利权）人： | 江苏芯梦半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 黄静依 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板支撑装置，包括工作台及旋转台，旋转台能够绕转动中心线相对旋转地设置在工作台上，转动中心线沿上下方向延伸，基板支撑装置还包括导液座，导液座设于旋转台的上方，导液座与工作台相对固定地设置，导液座的周向外表面位于一虚拟圆锥面内，虚拟圆锥面的顶点朝上，虚拟圆锥面的中心线与转动中心线相重合。本实用新型提供的基板支撑装置，基板背面清洗后中心滴落的清洗液能够沿着导液座的周向外表面导流至旋转台上，并在离心力的作用下甩出旋转台，使得旋转台及导液座的表面均能够干燥清洁，从而有助于维持基板清洗效果，并有效避免后续抓取基板的机械手被污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 装置 | ||
【主权项】：
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