[实用新型]氮化炉控制装置及系统有效
| 申请号： | 202222694836.9 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN218089756U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 陈肖华;吴万里;冯留建;陈喜清;刘兴平;杨利明;周克虎;马刚;张财国 | 申请（专利权）人： | 新疆晶硕新材料有限公司;新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/24 | 分类号： | C23C8/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 罗仕满 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种氮化炉控制装置及系统。所述氮化炉控制装置包括：控制器；压力传感器和温度控制器，压力传感器和温度控制器设置于氮化炉，压力传感器和温度控制器分别通过RS485总线与控制器连接；流量控制器，流量控制器设置于与氮化炉连通的气体输入管道，流量控制器通过RS485总线与控制器连接；控制器用于接收压力传感器的压力检测信号，向流量控制器传递流量控制信号，以及用于接收温度控制器的温度检测信号，向温度控制器传递温度控制信号。本实用新型的方案通过RS485总线的可靠通讯，可以实时、精准地控制输入氮化炉的气体流量和生产工艺需要的不同温度，从而实现氮化硅制粉过程的自动化控制。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 控制 装置 系统 | ||
【主权项】：
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