[实用新型]照明装置以及检测设备有效
| 申请号： | 202222712358.X | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN218630379U | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 杨乐;周璐阳;孟立春;陈鲁 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/28;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王曙聘 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区观澜*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了照明装置以及检测设备，用于提升对照明光的控制精度，包括：光源组件、光放大组件以及光阑组件；所述光源组件用于发射照明光；所述光阑组件和光放大组件均位于所述光源组件至样品之间的光路上；所述光放大组件用于使所述光源组件的出光端面或样品表面与所述光阑组件共轭；和/或，所述照明装置还包括位于所述样品和所述光放大组件之间的物镜，所述样品设置于所述物镜的焦面处，所述光放大组件用于使所述光阑组件与所述物镜远离所述样品的焦面共轭；所述光放大组件靠近所述光阑组件的一端为放大端。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 装置 以及 检测 设备 | ||
【主权项】：
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