[实用新型]一种新式多管气相沉积炉

摘要

本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，尤其是一种新式多管气相沉积炉，包括立式炉体，在所述立式炉体的加热圆柱腔内安装有若干个环形立式炉管组件，通过对导热油的加热升温实现对各个环形立式炉管组件内部的物料进行加热处理，在所述加热圆柱腔的下部安装有一下部定位盘，各所述环形立式炉管组件的下部均自上而下固定穿出至所述下部定位盘的下方，在所述加热圆柱腔的上部安装有一升降式上部定位机构，在所述立式炉体的外侧壁上安装有与加热圆柱腔内部相连通的循环油管，两所述循环油管与外部高温导热油源相连接。本实用新型中设计的新式气相沉积炉在采用了多管立式结构，可以有效地保证了各管内均可以加工化工物料物料，有效地提高了生产效率。