[实用新型]一种延长晶振片寿命的蒸镀机有效
| 申请号： | 202222731826.8 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN218465922U | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 李文浩;李刚;林武;尚大可 | 申请（专利权）人： | 福建兆元光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 董晗 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述延长晶振片寿命的蒸镀机的多个所述遮挡部绕遮挡板自转轴线均匀设置，所述镂空部设置在相邻的遮挡部之间；所述镂空部上设有镂空通道；所述镂空通道和遮挡部旋转所扫过平面均阻隔在镀源和晶振片之间。本实用新型的有益效果在于：所述延长晶振片寿命的蒸镀机中，蒸镀材料从镀源蒸镀到晶振片上的路径时而被遮挡部阻挡，时而由镂空通道连通。因此所述遮挡板的设置使晶振片被镀膜较少。不仅使晶振片的侦测膜厚精度更高，还使晶振片长期处于载荷较低的状态下，延长了晶振片的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 晶振片 寿命 蒸镀机 | ||
【主权项】：
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