[实用新型]一种光刻机支架及支架组件有效
| 申请号： | 202222741713.6 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN218728598U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 蔡国栋 | 申请（专利权）人： | 苏州杰悦五金机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16M11/04;F16M11/18;F16M11/42;F16M7/00;F16F15/023;F16F15/067 |
| 代理公司： | 北京达友众邦知识产权代理事务所(普通合伙) 11904 | 代理人： | 封刃 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于光刻机技术领域，提供了一种光刻机支架及支架组件，包括底板，所述底板的下端左右两侧均安装有支撑腿，且支撑腿的下端内侧设置有定位杆，所述定位杆与支撑腿的连接处安装有调节杆，且定位杆的下端设置有防滑块；限位柱，其安装在底板的上端，所述限位柱的上端外侧设置有支撑板，所述支撑板的下侧设置有第一衔接板；调节板，其设置在第二衔接板的内侧，所述调节板的下端安装有安装杆，所述安装杆和油腔的连接处设置有缓冲板；光刻机底座，其安装在支撑板的上侧，所述支撑板的左右两侧均安装有安装板。该光刻机支架及支架组件，有利于对光刻机进行支撑，具有良好的定位效果，且有利于将装置进行移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 支架 组件 | ||
【主权项】：
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