[实用新型]一种水冷等离子化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提供一种水冷等离子化学气相沉积设备，涉及化学气相沉积技术领域。该水冷等离子化学气相沉积设备包括微波发生装置，所述微波发生装置一侧固定连接有用于调整微波反射的三销钉调谐器，所述三销钉调谐器一侧固定连接有模式转换器，所述模式转换器内部滑动连接有天线水管，所述天线水管外侧固定连接有胀紧套。该水冷等离子化学气相沉积设备，石英玻璃离生产区域较远，避免刻蚀造成一系列的危害，天线由特有的胀紧机构保证其稳定性，能更好地保证腔体的密封状态和稳定的生产状态，密封件原理高温区域且设有冷却水降温，能极大提升其寿命，仅需定期维护时更换即可，避免由密封圈频繁损坏造成的问题。