[实用新型]一种晶圆载具

摘要

本实用新型公开了一种晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套，所述载具本体的底部开设有通槽，所述通槽的内壁滑动连接有推动斜板，所述载具本体内壁的底部开设有导向槽，所述导向槽的内壁滑动连接有从斜板，所述从斜板的表面与推动斜板的表面滑动连接，所述从斜板的侧面与载具本体内壁的侧面之间固定连接有弹力件，本实用新型通过上述等结构的配合，实现了设置防滑软垫能够对晶圆的夹紧防落，通过推动斜板和从斜板之间滑动作用下，弹力件能够给予从斜板后续复位的弹力，保障了拉动以及稳定夹套对晶圆的装卸作用，给工作人员的工作带来了便利。