[实用新型]一种硅片制造用清洗干燥装置有效
| 申请号： | 202222809701.2 | 申请日： | 2022-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN218410485U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 霍育强 | 申请（专利权）人： | 池州首开新材料有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/14 | 分类号： | F26B5/14;F26B23/04;F26B25/00;F26B25/02;H01L21/67;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 丽水创智果专利代理事务所(普通合伙) 33278 | 代理人： | 苗宗坤 |
| 地址： | 247100 安徽省池州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片制造用清洗干燥装置，包括机体，所述机体的左端设置有固定板，所述固定板的内部设置有滑槽，所述固定板的下端设置有第二推杆，所述第二推杆的输出端固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接于第一连接杆，所述第一连接杆的下端固定连接有擦板，所述机体的下端设置有底座，所述底座的下端固定安装有支撑柱，所述底座的下端固定连接有U形板，所述底座的前端安装有电热开关，所述底座的上表面左端设置有水池，所述底座的上表面右侧设置有电热板，所述底座与固定板固定连接，通过电机带动转板转动，使转板向右转动能夹持硅片，向左转动使硅片能够被清洗干燥，通过电机能够反复驱动，使在清洗干燥硅片的过程中更为便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 制造 清洗 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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