[实用新型]一种石英晶体谐振器真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202222863737.9 | 申请日： | 2022-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN219079629U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 谢志斌 | 申请（专利权）人： | 陕西东芯恒科电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50;C23C14/56;B08B1/04 |
| 代理公司： | 深圳深知通专利代理事务所(普通合伙) 44783 | 代理人： | 高真辉 |
| 地址： | 725000 陕西省安康市高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，包括箱体，所述箱体顶部左端固定连有镀膜料扩散泵箱、一号固定管和镀膜料发射头，所述箱体顶部右端固定连接有水泵箱和二号固定管，所述二号固定管底端固定连接有软管，所述箱体右侧顶端设置有真空泵，所述真空泵输出端固定连接有真空管，所述箱体底部右端固定连接有底壳，所述箱体底部右端固定连接有二号电机，所述二号电机输出端固定连接有丝杆，所述丝杆顶端转动连接有固定块，所述固定块左侧固定连接有海绵滚筒，所述固定块右端偏前位置处滑动连接有固定柱。本实用新型中，通过镀膜装置本身自动对转盘表面进行清洗的工作，为工作人员带来了便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶体 谐振器 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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