[实用新型]一种兼容4至8寸的提高热蒸发镀膜均匀性的夹具有效
| 申请号： | 202222879140.3 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN218404387U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 李燚雷;傅建良;孙猛 | 申请（专利权）人： | 绍兴君万微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 阮成豪 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种兼容4至8寸的提高热蒸发镀膜均匀性的夹具，夹具的周向外沿等间隔开设有多个定位孔，并通过螺丝固定于专用镀膜设备的低温台表面，包括环形的金属工件盘，所述金属工件盘的中心开设有孔一、孔二，且孔一两面穿透金属工件盘，孔二的开设厚度小于孔二的厚度，所述孔二的径向尺寸大于孔一的径向尺寸，以在两者接攘位置处形成台阶，所述金属工件盘上设有一平边结构，平边结构衔接于孔一和孔二的内侧。本实用新型采用金属工件盘与晶圆嵌合的方式固定，操作简单、晶圆与基板接触更紧密，克服了每次固定晶圆时，贴合紧密度不一致的缺陷，提升的镀膜的均一性；并且兼容不同尺寸的晶圆，操作更加便捷，节约了时间成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兼容 提高 蒸发 镀膜 均匀 夹具 | ||
【主权项】：
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