[实用新型]真空吸附手指及晶圆搬运设备有效
| 申请号： | 202222901967.X | 申请日： | 2022-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN218364821U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 陈思乡;杜振东;雷传;徐焕;孟恒 | 申请（专利权）人： | 长川科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B25J11/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘桐亚 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空吸附手指及晶圆搬运设备，涉及物料搬运技术领域，本实用新型提供的真空吸附手指用于搬运物料，其中物料包括物料本体及用于固定物料本体的固定支撑件，本实用新型提供的真空吸附手指包括承载本体，用于承载物料；和安装于承载本体上的吸附组件，吸附组件包括多个吸气端面，用于吸附所述固定支撑件的外周面。本实用新型提供的真空吸附手指结构简单，具有能够对物料中固定支撑件的外周面进行吸附的多个吸气端面，可在吸取过程中完成对物料的定位，且能够吸附不同内径的固定支撑件，具有较好的兼容性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 手指 搬运 设备 | ||
【主权项】：
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