[实用新型]一种伯努利吸盘有效
申请号: | 202222920547.6 | 申请日: | 2022-11-02 |
公开(公告)号: | CN218769463U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 张兴浩;李雪;陆艳 | 申请(专利权)人: | 无锡奥特维科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡三合知识产权代理事务所(普通合伙) 32602 | 代理人: | 徐鹏飞;赵庆华 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种伯努利吸盘,伯努利吸盘包括吸盘壳和吸盘芯,吸盘壳中部形成有容置腔,吸盘芯安装于容置腔内,吸盘芯与容置腔之间形成气腔,吸盘壳上开设有连通气腔的进气孔,吸盘壳的底面周向间隔设置有若干块柔性垫,相邻两块柔性垫之间形成与气腔连通的出气空隙,出气空隙的宽度由吸盘芯中心向外变小。上述伯努利吸盘通过将出气空隙设置为宽度由吸盘芯中心向外变小的结构,增大了出气空隙内侧部分的伯努利区域,吸附面积大;同时能提高出气空隙排出的气流流速,在出气间隙外侧部分产生更大的托举力,提高吸盘吸附的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 伯努利 吸盘 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造