[实用新型]一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置有效
申请号: | 202222953048.7 | 申请日: | 2022-11-07 |
公开(公告)号: | CN218517913U | 公开(公告)日: | 2023-02-24 |
发明(设计)人: | 郭良 | 申请(专利权)人: | 珠海东辉半导体装备有限公司 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/70 |
代理公司: | 珠海得全知识产权代理事务所(普通合伙) 44947 | 代理人: | 赵学超 |
地址: | 519080 广东省珠海市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及光路校准技术领域,公开了一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置,能够提升准直度的精度,且可以提升准直度的调试效率。本实用新型包括固定部、入射光部和出射光部;所述入射光部设于所述通道的第一端,所述入射光部设有入射光孔;所述出射光部设于所述通道的第二端,所述出射光部设有出射光孔,且所述出射光孔和所述入射光孔同轴设置。本实用新型在调试成像光路或激光光路时,成像光路或激光光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔,同时观察穿过出射光孔之后的光路形状,则可以判断对应的光路准直度是否调试好,本实用新型结构简单、结构小、便于对成像光路或激光光路的准直度进行矫正,有效地提升了准直度的调试效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 调光 光学系统 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
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