[实用新型]气相沉积炉配气系统有效

专利信息
申请号: 202222971749.3 申请日: 2022-11-08
公开(公告)号: CN218786659U 公开(公告)日: 2023-04-04
发明(设计)人: 奚衍罡 申请(专利权)人: 苏州冠岚新材料有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215600 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了气相沉积炉配气系统,包括隔热套壳和预热气体盒,所述预热气体盒安装固定在隔热套壳的内部中间,所述预热气体盒的外端穿过隔热套壳设置有气相沉积炉进气管,所述气相沉积炉进气管的周侧设置有管道夹持器,所述预热气体盒的内端穿过隔热套壳设置有预热气输送管,所述预热气输送管的周侧设置有密封炉套,所述密封炉套的外侧设置有气相沉积炉本体,所述预热气输送管的内端位于气相沉积炉本体的内部设置有进气分散盘,所述进气分散盘的内端设置有镂空输送盖,所述预热气体盒与外部控制器电性连接。本实用新型公开的气相沉积炉配气系统具有预先加热输送的反应的气体,从而确保整体气相沉积炉加工品质的技术效果。
搜索关键词: 沉积 炉配气 系统
【主权项】:
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