[实用新型]气相沉积炉配气系统有效
申请号: | 202222971749.3 | 申请日: | 2022-11-08 |
公开(公告)号: | CN218786659U | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 奚衍罡 | 申请(专利权)人: | 苏州冠岚新材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了气相沉积炉配气系统,包括隔热套壳和预热气体盒,所述预热气体盒安装固定在隔热套壳的内部中间,所述预热气体盒的外端穿过隔热套壳设置有气相沉积炉进气管,所述气相沉积炉进气管的周侧设置有管道夹持器,所述预热气体盒的内端穿过隔热套壳设置有预热气输送管,所述预热气输送管的周侧设置有密封炉套,所述密封炉套的外侧设置有气相沉积炉本体,所述预热气输送管的内端位于气相沉积炉本体的内部设置有进气分散盘,所述进气分散盘的内端设置有镂空输送盖,所述预热气体盒与外部控制器电性连接。本实用新型公开的气相沉积炉配气系统具有预先加热输送的反应的气体,从而确保整体气相沉积炉加工品质的技术效果。 | ||
搜索关键词: | 沉积 炉配气 系统 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的