[实用新型]一种自动化硅片清洗机有效
| 申请号： | 202223026235.7 | 申请日： | 2022-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN219233310U | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 项卫光;徐伟;李晓明;李有康;陈凡荣 | 申请（专利权）人： | 浙江正邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 杭州航璞专利代理有限公司 33498 | 代理人： | 周方建 |
| 地址： | 321400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动化硅片清洗机，包括：清洁台，清洁台的中部开设有清洁池，还包括：入料机构，其包括设置在清洁池上方的U型框、以及与U型框相卡接的储料框，且储料框的上端通过挂架与U型框相卡接，U型框的两侧通过支撑杆与清洁台转动连接；自动送料机构，其包括与U型框平行设置的送料杆、以及设置在挂架两侧的推送机构，推送机构的输出端通过卡接板与挂架相卡接；本实用新型通过将装载有硅片的储料框通过挂架卡接在U型框上，通过转动U型框两侧的支撑杆，带动储料框重心下移上移和，便于控制硅片入料清洁和出料的目的，位于挂架两侧的推送机构，且卡接板与挂架卡接，能够推送挂架稳定移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
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