[实用新型]激光打标防泄漏机构以及半导体生产线

摘要

本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种激光打标防泄漏机构以及半导体生产线。加工台上放置基板，密封组件包括均被加工台密封的第一槽体和第二槽体，第二槽体围设在第一槽体外并与第一槽体形成隔绝空间，隔绝空间内放有感应器，进气管和出气管能将第一槽体内的粉尘和气体带走。通过在真空的隔绝空间内放入感应器，外界空气进入隔绝空间或密封空间的空气进入隔绝空间中，感应器报警，第一槽体产生的气体或粉尘进入到隔绝空间中，而未进入到大气中，保证操作者的人身安全和健康。该半导体生产线能够彻底防止人吸入粉尘和气体，保障人身安全和健康。