[实用新型]激光沉积镀膜设备有效
| 申请号： | 202223294780.4 | 申请日： | 2022-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN219044963U | 公开（公告）日： | 2023-05-19 |
| 发明（设计）人： | 李炳坤;张晓军;夏慧 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林明校 |
| 地址： | 518131 广东省深圳市龙华区民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光沉积镀膜设备，该激光沉积镀膜设备包括：壳体，壳体内形成有镀膜腔，壳体上设置有分别与镀膜腔连通的第一视窗部以及第二视窗部，第一视窗部以及第二视窗部隔着镀膜腔对置；激光器，设置在镀膜腔的外部，并经由第一视窗部朝向镀膜腔的内部发射激光束；靶座，设置在镀膜腔的镀膜区域内，可沿朝向与其对置的基台靠近或者远离的方向被驱动，在靶座沿靠近基台的方向被驱动时，从激光器发射的激光束可照射到位于靶座上的靶材上，在靶座沿远离基台的方向被驱动时，从激光器发射的激光束可穿过第二视窗部并到达放置在第二视窗部的外侧的能量计。本实用新型的激光沉积镀膜设备能够更加容易地检测激光的能量，并且结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 沉积 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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