[实用新型]一种晶圆厚度自动量测仪有效
| 申请号： | 202223329038.2 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN218765127U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 张凯 | 申请（专利权）人： | 韦森特（东莞）科技技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;B07C5/10 |
| 代理公司： | 东莞技创百科知识产权代理事务所(普通合伙) 44608 | 代理人： | 邱凯 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆量测技术领域，尤其是涉及一种晶圆厚度自动量测仪，包括柜体和支撑架，柜体内设置有量测平台和移动机构，柜体设置有开口，开口处对接有进出料装置；量测平台上设置有量测装置和量测系统主机，量测装置设置有量测基座、伺服驱动装置和量测探头部件，量测探头部件设置有彩色光源组件、光谱探测组件和光谱解码组件。通过在一个柜体内设置量测装置和移动装置，从而使进出料装置里的晶圆在密封干净的环境中进行量测，减少在量测和移动过程中对晶圆表面造成的不良影响。结合彩色光源组件、光谱探测组件和光谱解码组件构成量测系统，提供高精度、非接触和大范围的量测性能，提高量测的效率和准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 动量 | ||
【主权项】：
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