[实用新型]一种TMAH废水处理装置有效
| 申请号： | 202223336098.7 | 申请日： | 2022-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN218642601U | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 曹晨雷;郭石璧 | 申请（专利权）人： | 杭州胜澜科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/00 | 分类号： | C02F9/00;C07C209/86;C07C211/63;C02F1/44;C02F1/42;C02F1/66;C02F1/52;C02F101/20;C02F101/30 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 孙安程 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及废水处理技术领域，具体涉及一种TMAH废水处理装置，包括以下有连接关系的处理单元：调节池，用于调节TMAH废水PH值；半透膜单元，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物；半反渗透膜分离单元，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水；离子交换树脂纯化单元，用于纯化TMAH溶液；混凝沉淀生化单元，用于处理回收大分子有机物。本实用新型能够将光刻胶等大分子有机物从系统中分离，避免在系统内停留或循环，对系统运行造成影响，并且不需要引入外部热源，节约了能量。经浓缩后的废水经过特殊的离子交换树脂进行纯化，纯化后TMAH可根据其纯度和含量决定其用途，若能达到电子级则可回生产线进行回用，也可做非电子级TMAH进行使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tmah 废水处理 装置 | ||
【主权项】：
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