[实用新型]一种精密定量液体供给装置有效
| 申请号： | 202223359151.5 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN218669753U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 王阳;魏猛;刘莹 | 申请（专利权）人： | 芯达半导体设备（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F04B43/09 | 分类号： | F04B43/09;F04B13/00 |
| 代理公司： | 辽宁惟则知识产权代理事务所(普通合伙) 21273 | 代理人： | 李巨智 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及液体供给装置技术领域，特别涉及一种精密定量液体供给装置。包括储液罐、泵送腔、伸缩囊及伸缩囊伸缩驱动机构，其中泵送腔的吸液口通过吸液管与储液罐连接，泵送腔的排液口通过供液管与喷嘴连接；伸缩囊容置于泵送腔内，伸缩囊内盛装有工作液，伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔的外侧，且与伸缩囊连接，伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊内的液体容积驱动伸缩囊伸缩，实现泵送腔从储液罐内吸液及泵送腔为喷嘴供液。本实用新型的泵送腔内因没有摩擦，不会对输送液产生污染；伸缩囊两侧压差小，且受力均匀，提高了伸缩囊的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 定量 液体 供给 装置 | ||
【主权项】：
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