[实用新型]碳化硅腐蚀炉有效
| 申请号： | 202223501433.4 | 申请日： | 2022-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN218994038U | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 张世有;张雪;崔孟华;周维 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司;汕尾比亚迪实业有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D21/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 周礼涛 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅腐蚀炉，包括：炉体；炉盖，炉盖盖合在炉体上，炉盖内设有腔室，腔室内可活动地设有第一腔门，以将腔室分隔为第一腔体和第二腔体，且第二腔体沿水平方向延伸至炉盖的侧边，以用于由第二腔体取放待测样品，炉盖的侧边设有第二腔门，以关闭第二腔体；盛料件，盛料件设在炉体内；盛料件内用于盛放碱料，待测样品通过第二腔体伸入第一腔体，且与盛料件的位置相对应；加热组件，加热组件设在炉体内，且位于盛料件的底部，以对盛料件进行加热。本实用新型的碳化硅腐蚀炉，无需打开炉盖进行取放样品，有效防止腐蚀液直接外溢，确保腐蚀液与外界大气环境的相对隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 腐蚀 | ||
【主权项】：
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