[实用新型]一种制绒槽

摘要

本申请提供一种制绒槽，包括槽体以及位于所述槽体内的鼓泡管；其中，所述槽体内设有硅片反应区，所述鼓泡管位于所述硅片反应区靠近所述槽体的底部的一侧；所述鼓泡管的管壁贯穿设有鼓泡孔；其中，所述鼓泡孔的鼓泡方向与第一方向之间夹角大于等于90°且小于180°；其中，所述第一方向平行于所述槽体的底部指向所述硅片反应区的方向。在上述技术方案中，通过对鼓泡孔的鼓泡方向与第一方向夹角角度的设计，以使鼓泡孔鼓出的气泡所受的气流推力避开硅片反应区，改善气泡直接朝向硅片反应区冲击硅片以使硅片碎裂的现象。