[实用新型]U型立式多功能双面镀膜生产线有效
| 申请号： | 202223534075.7 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN219526783U | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞;张巧;袁帅;杨红;欧阳杰 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 湖南格创知识产权代理事务所(普通合伙) 43263 | 代理人： | 张文 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种U型立式多功能双面镀膜生产线，包括平行设置的PVD连续真空生产线和CVD连续真空生产线，PVD连续真空生产线的末端与CVD连续真空生产线的首端通过真空平移室衔接，真空平移室用于将基片从PVD连续真空生产线转移至CVD连续真空生产线，以及真空度切换，真空平移室与PVD连续真空生产线、CVD连续真空生产线对接腔室的连接处分别设置有用于封闭进出口的门阀，且真空平移室通过真空管道连接真空抽气系统，在真空平移室内设置有用于转移基片的平移机构。本实用新型实现了所镀产品多层膜系且不同工艺条件下在真空环境下连续完成，而且实现产品双面镀膜工艺，在满足产品高要求工艺的同时大大提高生产产能。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 多功能 双面 镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
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