[实用新型]一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置

摘要

本实用新型公开了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其涉及碳化硅外延生产领域，其包括托盘基座，顶部设置有水平承载部，所述托盘基座内设置有容纳腔，所述水平承载部上设置有第一开槽，装设在第一开槽内并与水平承载部水平面平齐的驱动块，所述驱动块的一端与水平承载部的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置，所述升降装置与驱动块活动的一端传动连接，本技术方案结构简单，在取料的过程中可以减少外延片划伤导致不良，节约原材料成本；同时减少人员在取片时浪费的时间，提高生产效率，本实用新型解决现有技术中碳化硅外延片生产过程中，人工取料效率低，不良率高，机械设备取料成本高的技术问题。