[实用新型]一种用于掩模工艺的自动拆膜装置有效
| 申请号： | 202223587388.9 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN219132162U | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 华卫群;尤春;刘维维;顾梦星;薛文卿;张月圆 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 张洪伟 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，包括底座，所述底座的中部开设有放置掩模版托盘的卡槽，其四周设有用于固定带膜掩模版的卡扣装置，所述卡扣装置依次包括螺栓、卡扣以及弹簧，所述底座上固定安装有框架，所述框架的下方设有拆膜卡爪，其上方设有用于控制拆膜卡爪的拆膜气缸，控制器与拆膜气缸连接；本装置结构简单，使用方便，拆膜卡爪前端的凸起以及卡扣装置均对掩模版起到有效的固定，防止拆膜过程中掩模版出现晃动，通过控制器来自动拆模，避免人工操作导致掩模版出现划伤、报废的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 工艺 自动 装置 | ||
【主权项】：
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