[实用新型]板状靶材通用型真空吸附固定装置

摘要

本实用新型公开了板状靶材通用型真空吸附固定装置，包括吸附板本体，吸附板本体顶部的一端设有等间距的第一矩形分隔块，第一矩形分隔块一侧的吸附板本体顶部皆设有第二矩形分隔块，第二矩形分隔块远离第一矩形分隔块一侧的吸附板本体顶部皆设有第三矩形分隔块，第三矩形分隔块、第二矩形分隔块与第一矩形分隔块外侧的吸附板本体顶部设有多组方形沉槽，吸附板本体两侧的外表面皆设有两组定位结构。本实用新型不仅能够对不同尺寸的板状靶材进行负压抽吸吸附固定，进而提高了固定装置的适用范围，还达到了对该固定装置进行定位安置的目的，而且降低了板状靶材产生磨损的现象，且提高了板状靶材拆装更换时的便捷性。