[实用新型]一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机

摘要

本实用新型涉及匀胶技术领域，特别涉及一种具有匀胶对中装置的晶圆匀胶机，包括匀胶机本体，设有匀胶槽以及设于其中可升降的晶圆放置台；晶圆对中机构，包括间隔设置若干直段的支撑环，所述支撑环位于所述晶圆放置台中心正上方，各所述直段旋转配合有晶圆卡具，所述晶圆卡具均设有与晶圆适配的弧形托板，所述弧形托板向支撑环内侧延伸，所述晶圆卡具均外接卡具调节环，通过掰动卡具调节环使所述晶圆卡具向外侧转动；本实用新型能实现晶圆匀胶中心的快速对中，提高操作效率，避免人工对中产生较大偏差、造成晶圆表面新缺陷。