[发明专利]部件更换方法、部件更换装置和部件更换系统

摘要

在部件更换方法中，将部件更换装置与处理装置的腔室连接(工序a)。然后，利用设置在输送臂的末端执行器的距离传感器，测量从腔室内的规定位置到输送臂的第一距离(工序b)。然后，使末端执行器移动至第一距离与第二距离之差小于第三距离的位置(工序c)。然后，利用设置在末端执行器的摄像机，对腔室内的规定位置的特征进行拍摄(工序d)。然后，使末端执行器移动，以使得特征被拍摄在由摄像机拍摄到的图像内的规定位置(工序e)。然后，以特征被拍摄在图像内的规定位置的状态的末端执行器的位置为基准，使用输送臂的末端执行器来更换腔室内的部件(工序f)。