[发明专利]一种二氯二氢硅组分的检测方法在审

专利信息
申请号: 202310014413.4 申请日: 2023-01-05
公开(公告)号: CN116008428A 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 金向华;陈琦峰;刘志军 申请(专利权)人: 金宏气体股份有限公司
主分类号: G01N30/02 分类号: G01N30/02;G01N30/06;G01N30/16
代理公司: 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 代理人: 朱如松
地址: 215152 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及二氯二氢硅组分检测技术领域,具体涉及一种二氯二氢硅组分的检测方法;本发明所提供的方法,对取样器内的空气进行置换;再向取样器内加入二氯二氢硅,将取样器抽真空;再将取样器水浴加热,向取样器内加入液氮,调整取样器的温度,使得取样器内气液平衡;再向取样器内通入载气加压,将载气和样品通入气相色谱仪、检测器进行检测分析,所提供的方法,能够有效的避免了样品与空气接触,可操作性强,同时,具有优异的准确性。
搜索关键词: 一种 二氯二氢硅 组分 检测 方法
【主权项】:
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