[发明专利]一种水平电镀装置在审
申请号: | 202310029058.8 | 申请日: | 2023-01-09 |
公开(公告)号: | CN115992380A | 公开(公告)日: | 2023-04-21 |
发明(设计)人: | 余丞博;卞和平;黄建;胥勇;刘余晖 | 申请(专利权)人: | 昆山东威科技股份有限公司;昆山沪利微电有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/10;C25D21/12 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 李林 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及电镀装置技术领域,尤其涉及一种水平电镀装置。包括上阳极盒、下阳极盒、电镀槽、外循环组件。上阳极盒内设置有第一阳极组件。下阳极盒内设置有第二阳极组件,且下阳极盒上开设有第二进液口和第二出液口。外循环组件包括进液管、出液管和水泵,水泵与进液管和出液管均连通,进液管连通于第二进液口,出液管连通于第二出液口,以使水泵能够驱动进液管内的药液对下阳极盒内的气泡进行引流。该水平电镀装置能够将下阳极盒内的气泡进行引流离开,避免气泡遮挡阳极电解反应,提高板材镀膜的均匀性和产品良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 水平 电镀 装置 | ||
【主权项】:
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