[发明专利]一种固晶机用自动更换吸嘴装置有效
| 申请号： | 202310037183.3 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN115763355B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张维伦;曾逸 | 申请（专利权）人： | 深圳市卓兴半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67;H01L33/48;B08B5/02;B08B15/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体行业的技术领域，具体涉及一种固晶机用自动更换吸嘴装置，该固晶机包括机架总成、邦头总成、电气滑环组件、多工位转盘和多个气动夹持组件，所述邦头总成装配于机架总成的上端，所述电气滑环组件装配于邦头总成的上端，所述多工位转盘装配于电气滑环组件的下端且位于邦头总成内部，多个所述气动夹持组件环形分布于多工位转盘的外侧。本发明通过调节快换盒内部的气压，使得收放组件对吸嘴进行取下和安装，无需依靠人工手动更换吸嘴，提高了更换效率，同时，在安装吸嘴完毕后，还能对吸嘴下端表面粘附的灰尘和杂物进行清理和收集，避免吸嘴堵塞，还能够避免灰尘和杂物对吸嘴造成二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固晶机用 自动 更换 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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