[发明专利]氯硅烷冷凝装置和氯硅烷回收系统在审
申请号: | 202310067651.1 | 申请日: | 2023-02-06 |
公开(公告)号: | CN116328345A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 陈奕峰;杨楠;范增涵 | 申请(专利权)人: | 天合光能股份有限公司;天合光能(青海)晶硅有限公司 |
主分类号: | B01D5/00 | 分类号: | B01D5/00;C01B33/107 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种氯硅烷冷凝装置和氯硅烷回收系统。氯硅烷冷凝装置用于冷凝来自上游工序的尾气中含有的氯硅烷。外壳的内空间依次划分为进气区域、冷凝区域和缓冲区域。外壳上对应于进气区域设置有尾气进口,尾气进口用于将尾气输入进气区域;外壳上对应缓冲区域设置有出液口。外壳上还设置有出气口。冷凝管设置于冷凝区域,用于将尾气中含有的氯硅烷冷凝成液态氯硅烷。出气口用于将尾气经过冷凝管后未凝结成液态的剩余气体排出。出液口用于将缓冲区域内的液态氯硅烷排出。尾气冷凝形成的液态氯硅烷能够在缓冲区域内积存,缓冲区域的容积被设置为能够避免出液口下液不畅,以避免出液口下液不畅。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 冷凝 装置 回收 系统 | ||
【主权项】:
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