[发明专利]氯硅烷冷凝装置和氯硅烷回收系统在审

专利信息
申请号: 202310067651.1 申请日: 2023-02-06
公开(公告)号: CN116328345A 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 陈奕峰;杨楠;范增涵 申请(专利权)人: 天合光能股份有限公司;天合光能(青海)晶硅有限公司
主分类号: B01D5/00 分类号: B01D5/00;C01B33/107
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;王婷
地址: 213000 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种氯硅烷冷凝装置和氯硅烷回收系统。氯硅烷冷凝装置用于冷凝来自上游工序的尾气中含有的氯硅烷。外壳的内空间依次划分为进气区域、冷凝区域和缓冲区域。外壳上对应于进气区域设置有尾气进口,尾气进口用于将尾气输入进气区域;外壳上对应缓冲区域设置有出液口。外壳上还设置有出气口。冷凝管设置于冷凝区域,用于将尾气中含有的氯硅烷冷凝成液态氯硅烷。出气口用于将尾气经过冷凝管后未凝结成液态的剩余气体排出。出液口用于将缓冲区域内的液态氯硅烷排出。尾气冷凝形成的液态氯硅烷能够在缓冲区域内积存,缓冲区域的容积被设置为能够避免出液口下液不畅,以避免出液口下液不畅。
搜索关键词: 硅烷 冷凝 装置 回收 系统
【主权项】:
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