[发明专利]吸擦一体式擦头装置在审
| 申请号： | 202310080721.7 | 申请日： | 2023-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN116276630A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘炳义;王秀海;文黎波;赵英伟;吴爱华;郝晓亮;秦天;马培圣;张文雅;曹健 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/02;B24B55/06 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郭乐 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种吸擦一体式擦头装置，包括吸盘主体和吸盘芯，吸盘主体上表面设有用于容纳研磨液的第一环形凹槽，第一环形凹槽的底部设有第一研磨液排出孔，安装圆台的中心设有第一通气孔；吸盘芯安装在吸盘主体的下表面；吸盘芯具有与第一通气孔同轴连通的第二通气孔；吸盘芯的下端设有分气盘，沿分气盘周向均匀设有多个第一径向排气孔，第一径向排气孔与第二通气孔连通；还包括通气管路、研磨液管路、吹扫气管路、冲洗液管路。本发明可实现对陶瓷圆片的无接触装载和卸载，可以完成对陶瓷圆片的研磨、冲洗和吹扫，大大避免了陶瓷圆片划伤、损坏、报废、二次污染的问题，提高了工作效率，保证了陶瓷圆片的研磨效果和洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 吸擦一 体式 装置 | ||
【主权项】：
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