[发明专利]一种套刻误差补偿模型参数配置方法及装置在审
| 申请号： | 202310088349.4 | 申请日： | 2023-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN115933333A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 仝怡;韦亚一;张利斌 | 申请（专利权）人： | 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 马小青 |
| 地址： | 510535 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种套刻误差补偿模型参数配置方法及装置，根据预设的参数数量选择套刻误差补偿模型中的模型参数，获得配置后的套刻误差补偿模型。对套刻误差量测数据、配置后的模型和配置后的模型的参数值进行计算，以获取表征量，并将表征量和套刻误差量测数据进行求差处理，获得表征残值。将表征残值进行归一化处理，获得配置后模型的评价参数。根据预设的参数数量选择不同的模型参数，以获取配置后的模型的集合，并对配置后的模型的集合进行迭代处理，获得评价参数集合。根据评价参数集合中最小的评价参数，获得优化后的套刻误差补偿模型。评价参数最小的模型参数配置最优，针对性的提高了模型的补偿精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 误差 补偿 模型 参数 配置 方法 装置 | ||
【主权项】：
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