[发明专利]一种OLED掩膜板的清洗方法及清洗装置在审
| 申请号： | 202310107051.3 | 申请日： | 2023-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN116240555A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 白阳阳;陈瑞梁 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23G5/036 | 分类号： | C23G5/036;C23G5/032;C23G5/04 |
| 代理公司： | 福州市京华专利代理事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 范小清 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种OLED掩膜板的清洗方法及清洗装置，所述方法包括S1、将附着有机材料的掩膜板固定在清洗机的固定治具中；S2、将经过步骤S1处理的掩膜板浸泡在N‑甲基呲咯烷酮中；S3、将掩膜板浸泡在纯水中来去除残留在掩膜板上的N‑甲基呲咯烷酮；S4、对经过步骤S3的掩膜板进行真空干燥处理，去除掩膜板上的水渍；S5、将掩膜板浸泡在氢氟醚类清洗剂；S6、对经过步骤S5处理的掩膜板进行真空干燥处理。在保证清洗效果的前提下，有效控制了氢氟醚类清洗剂的用量，大幅度节省了清洗成本，减少了对氢氟醚类清洗剂的污染，延长了溶剂的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 掩膜板 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
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