[发明专利]一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202310118418.1 | 申请日： | 2023-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN116254511A | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 贾倩;何金江;张晓娜;李勇军;丁照崇;许兴;刘秀 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料（山东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C16/26 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 102299 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法，所述碳靶材以高纯甲烷气体为碳源气体，氮气和氢气为稀释气体和载气，采用化学气相沉积法进行制备；首先，使碳靶材在底部沿水平方向生长1‑5mm，然后，改变气体流型使碳靶材沿垂直方向生长5‑10mm，接着，再在顶部使碳靶材沿水平方向生长1‑5mm，获得两种生长方向的大尺寸碳靶坯，最后，使用机加工的方式将底部及顶部1‑5mm厚沿水平方向生长的碳去除，获得直径≥400mm，厚度5‑10mm，密度≥2.1g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 性能 尺寸 碳靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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